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第50章 光刻机测试开始！ (2-2)
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“电源已打开，真空泵已打开，氮气已打开，压缩空气已打开，正在调节背面气压旋钮。”
“压缩空气气压调整为35PSI，氮气压力约5PSI，真空压力约-25PSI。”
“显微镜系统和曝光系统移动到位，现在开始装片。”
“开始双面对准，模板架成功升起，背面照明系统的片托安装成功。”
“正在调节片托的真空吸孔和硅片限位块位置，调节成功。”
“掩膜板已经放到模板架，成功吸住模板。”
“硅片放置于片托，并与掩膜板对准旋转角，打开开关吸住硅片。”
“开始接通氮气，片托开始降低，下降模板架。”
“调整片托位置，硅片与模板达到平面平行。”
“……”
听着研究人员报出一步一步的操作，纵然表面看起来平静的楚辞，此时也免不得有些紧张起来，不知道这一次能不能成功！
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