“电源已打开,真空泵已打开,氮气已打开,压缩空气已打开,正在调节背面气压旋钮。”
“压缩空气气压调整为35PSI,氮气压力约5PSI,真空压力约-25PSI。”
“显微镜系统和曝光系统移动到位,现在开始装片。”
“开始双面对准,模板架成功升起,背面照明系统的片托安装成功。”
“正在调节片托的真空吸孔和硅片限位块位置,调节成功。”
“掩膜板已经放到模板架,成功吸住模板。”
“硅片放置于片托,并与掩膜板对准旋转角,打开开关吸住硅片。”
“开始接通氮气,片托开始降低,下降模板架。”
“调整片托位置,硅片与模板达到平面平行。”
“……”
听着研究人员报出一步一步的操作,纵然表面看起来平静的楚辞,此时也免不得有些紧张起来,不知道这一次能不能成功!
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