第51章 第一轮测试通过，研发成功！ (2-1)

基地之中，研究人员依然在继续进行光刻机的测试。

“现在开始进行对准，监视器打开，红外光源打开，进行单面对准。”

“调节显微镜的位置、焦距、放大倍率、CCD的增益，掩膜板图形已经呈现在监视器，调节硅片位置与掩膜板完全对准。”

“调节成功！”

“现在开始调节真空度，目前真空度为-20PSI，打开开关使硅片与掩膜板紧密接触。”

“选择进行超高精度的曝光，关闭按钮SubstrateVacuum，将显微镜系统归位。”

见到操作都没有问题，楚辞和唐宏等人脸的表情越发严肃起来，因为接下来就是进行曝光处理了。

“开始曝光处理，汞灯电源打开，电压已经达到最大值。”

“触发汞灯检查风扇是否正确运转，触发成功，电压开始降低，目前电压为54伏。”

“旋钮调节汞灯到需要的功率以及光照度，汞灯为ARC350W，光照度调节为CH-A15mW\/cm,CH-B30mW\/cm。”

“打开左面板曝光控制电源按钮，开始设定所需的曝光时间。并且开始对汞灯进行预热八分钟。”

预热过程中，整个基地都显得安静无比，只有光刻机在运转的声音。

虽然基地很凉快，但楚辞发现，很多人此时已经额头冒汗，双拳紧握，就连他自己都有些紧张，更别说别人了。

“预热结束，打开有面板的开关，曝光系统已经自动移动到硅片方，曝光开始！”

八分钟后，随着研究人员的声音落下，光刻机开始运转起来，对着硅片进行曝光处理。

时间一点点过去，因为是测试，需要大量的样品，所以曝光的硅片数量也很多。

足足等候了一个小时左右，光刻机的测试也总算是结束。

“开始取片，关闭开关，使硅片与掩膜板脱离接触。”

“模板架升起，取出硅片。”

“下降模板架，取下掩膜板。”

“关闭汞灯电源，关闭真空系统、氮气以及压缩空气。”

“关闭光刻机电源。”

“光刻机第一轮测试结束，现在开始对硅片进行检测。”

随着研究人员的声音落下，光刻机也停止了运转，但所有人并没有放松，反而更加紧张。

虽然过程中没有出现什么错误，但也正是如此，一旦硅片的光刻效果达不到他们的预期，那就意味着整个光刻机都有可能要推翻重来。

“楚工，你觉得结果会怎么样？”

唐宏深吸一口气问道，他都六十多了，还真有点受不了这种刺激的场面。

“唐院长放心吧，我绝对没有什么问题，而且一会儿的结果会个我们一个很大的惊喜。”

楚辞笑着说道，但心里其实也没有底，毕竟这种突破性的技术，失败的可能性也是有的。

时间一点点过去，检测人员也在对每一个硅片进行详细的审查，又是一个多小时后，检测人员终于来到了众人面前。

此时这里有数百名研究人员，当看到检测人员出现，所有人都忍不住屏住了呼吸。

两年多的时间，七百多个日日夜夜，最后的结果如何，全看检测人员的这张嘴了。

“报告，光刻机运行一个小时，一共生产了493片晶圆。”

“我们已经对所有硅片进行了详细的检查，最终发现其中有411片晶圆符合需求，82片晶圆为残次品。”

“符合需求的晶圆，根据检测，其精准度全部达到了4nm，我的汇报完毕！”

检测人员的声音在基地之中回荡，现场众人在短暂的愣神后，随后脸逐渐露出了不敢置信的表情。

“这话什么意思？我们成功了？成功研发出了4nm光刻机？”

“成功了，哈哈哈，我们终于成功了！”

“两年啊，终于成功了，这一次可以睡个好觉了。”

开学典礼上，发现我爸是校长！提示您：看后求收藏（百发小说网http://www.baifabohui.com），接着再看更方便。