第七十八章 授业之恩，今生难忘 (2-1)

“多重曝光技术？”

站在高永明右侧的工程师露出抹不解，他叫唐鑫宇，是龙芯国际光刻团队的副首席。

他好像听说过，但记不起来在哪听过了。

“没错。”

林天点了点头，语气坚定道：“DUV光刻机是可以制造14纳米芯片的，它的极限远不止于此，理想状态是能到7纳米。”

高永明：“！！！”

唐鑫宇：“！！！”

曲程：“！！！”

DUV光刻机极限居然是7纳米？

你在开什么玩笑？

陈星也被惊到了，如果真能使用一台20纳米制程的DUV光刻机造出7纳米芯片，那西方会不会对此大跌眼镜？

别看明面上，米国还没下场封锁技术，但背地里，其实早就限购光刻机了。

它的做法很简单，可以卖你龙国光刻机，但不能卖给你最先进的光刻机。

例如两年前，28纳米还属于先进水平的时候，28纳米制程的DUV光刻机就不能卖给龙国，谁敢卖，就是和米国作对。

荷兰敢吗？

显然是不敢的，它们也没有这个本事。

荷兰ASML公司说白了，它就是个光刻机组装工厂，没有米国的光源技术，它啥也不是。

而到了今天，西方攻克了14纳米芯片后，已经把目光看向了7纳米芯片，自然而然的，20纳米DUV光刻机就被放开了。

米国目的很明显，允许你用，但不允许你超越。

越是害怕，越会提防，因为龙国才脱离战争不到三十年，就发展到了世界第二大经济体，再给发展三十年会怎么样？

沉睡的雄狮，东方的巨龙，它们哪敢不防？

陈星虽然是商人，但同时也是位龙国商人，如果能在自家搞出14纳米芯片，那他还是愿意多支付一些流片费用的。

毕竟曲程也说了，之前龙兴科技公司申请的国家芯片扶持也走完审核流程，资金和土地都进入了最终的批准环节。

“说说使用这個多重曝光技术，流片要多少钱？”

陈星表明自己态度。

林天得到确切的答复后，述说自己的想法道：

“光刻多重曝光技术，说通俗直白一点就是，原本只需一块的芯片掩膜版就可以搞定的生产，现在我们因为光刻机精度和分辨率的限制，将它拆分多块，每一块都有相对应的电路图案。”

“比如我们要做14纳米芯片，可以把设计的芯片电路图案拆开，就得到了两份28纳米间隔的电路图案，分两次把它们刻在硅片上，就会形成完整的14纳米芯片电路图案，就类似于我们龙国的太极图，一阴一阳互补的意思。”

“因为是两块芯片掩膜版，所以要给双倍的流片费用。”

陈星大致听明白了，这个多重曝光技术就相于要印刷一个AB字母的组合图案。

第一步先把AB拆开，得到A与B两个图案，然后将它们分别制作光掩膜版，紧接着用第一块A字母的掩膜版在硅片上刻了A，再用B字母的掩膜版在硅片上刻上B，最终得到所需要的AB组合图案。

八个字概括就是，精度不够，工序来凑。

“要花两倍的流片费用，高总，14纳米的……”

陈星刚想问问流片费多少，却发现高永明整个人止不住颤抖，瞳孔微缩的同时，充满了恍然大悟与激动之色。

他身旁的两位光刻工程师，也在喃喃低语。

“多重曝光…”

“既然单次精度不够，为何不分两次曝光呢？”

“好天才的想法…”

三人似乎进入了顿悟状态，高永明本身就是干这方面的，同时也是光刻领域的教授，他自然不会听不懂林天在说什么，现在他脑海只有一段话：“多重曝光技术，DUV光刻机的春天终于要来了吗？”

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