56、震撼科学院，高层领导亲自接见 (2-1)

“这是个不错的提议。”

那名光学研究中心主任眼前一亮，频频点头：“从理论来说，这几种方法，完全解决了现在的难题。”

说着，主任话锋一转继续道：“小杨，我看你黑板，绘制了曝光系统，这个曝光系统，又是怎么运作？”

杨玄所绘制的图，是按照十几年后的光刻机进行拆分的。

对于现在的科研人员而言，绝对是极其超前的。

甚至，连设计概念都未曾想过。

“基于科益虹源目前所研发的激光器光源，我进行了曝光系统的这份设计。”

杨玄说着，手持粉笔在黑板圈重点：“按照光源下一步将设计的45nm的光，被收集后，通过几个反射镜形成所需要的光照方式并照射在掩模。”

“掩模同样设计成反射式的，从掩模反射出的光包含了掩模的图形信息，这些带有信息的光通过另一组反射镜投影在晶圆实现曝光。”

话音落下，杨玄快速走到黑板空白区域，再次绘图。

关于曝光系统的运行设计，从光照系统、掩膜工作台、到晶圆工作台，概括为投影光学系统。

另一组，光源与收集器，以及激光器所投射出来的光，形成中间汇聚点。

完成一系列操作，杨玄转过身，面向众人，继续介绍。

“在光刻机中，通过使用6个反射镜实现了465的数值孔径，但若要提升数值孔径就需要增加更多的反射镜，比如将反射镜增加到8个便可将数值孔径提升到45。”

“另外通过增加非球面度可进一步提高成像质量，减少波前误差；通过降低面型粗糙度可降低杂散光，提高对比度等。”

偌大的会场内，安静极了。

几百名老中青科研人员均是一脸沉思状，末了，不少人纷纷埋头伏案，快速将杨玄的所讲记录下来。

“小杨……”

科学院主管半导体的副院长询问道：“你这lpp光学系统的结构，蕴含了驱动激光器、光束传递、以及真空腔系统的，能详细说下这三个部分吗？”

“好，我接着说这三个。”

杨玄颔了颔首道：“驱动激光系统包含CO2激光器和预脉冲激光器，其中CO2激光器是一套主振功率放大(MOPA)系统。”

“该主振荡器包含多个量子级联激光器，一套再生放大器，和一套基于射频放电激发、平板波导和多程放大器的后置放大系统。”

“预脉冲激光和CO2激光束在光束传输系统中被混合起来，并通过真空腔系统中的对焦单元导入到等离子体态的锡液滴。”

“锡等离子体产生的光束被收集镜收集起来，并导入到曝光系统中。”

“超导磁场系统位于真空腔外部，并能在腔内产生高强度的磁场，从而保护收集器镜面不受锡等离子体产生的高速锡离子的影响。”

“此外，该系统配备有若干套射击控制回路，如液滴定位控制、激光光束轴、定时控制器，以确保液滴和激光器间能拥有μm至nm量级的射击精度。”

“在DPP技术中注入的材料如Sn或Xe在电场作用下生成等离子体，然后磁场对其进一步压缩使之达到高温、高密度并产生辐射。当然在LPP技术中是用激光激发方式产生一些辐射。”

“未来的光刻机主要用Sn来激发光子，主要的原因是Xe的转换效率不到1%，绝大多数输入能量变成热能，因此效率太低，而且光源散热不容易解决。”

“衡量光源的重要性能指标为转换效率和输出功率，其中转换效率为13.5nm附近2%带宽内输出的能量占总输入能量的百分比，输出功率则是在中间汇聚点测得的功率。”

一堂课，从晚七点开始，持续到深夜十点，总算结束了。

杨玄今天一天，连晚饭和午饭都没吃，早就开始饥肠辘辘。

课题落幕时，会场内传来经久不息的掌声。

重生：指点老爸做寡头，我躺平了提示您：看后求收藏（百发小说网http://www.baifabohui.com），接着再看更方便。