第十一章：国产第一台极紫外光刻机 (2-1)

此时大家都是通过外面的屏幕来观看里面的实验。

因为人太多，就会带入很多细菌和灰尘。

此时苏晨在实验室中担任指挥，其他科研人员都在紧急调配。

里面是一个非常小巧的机器。

大家看了以后都很疑惑。

因为极紫外光刻机大家不是没有见过。

体型非常庞大！

毫不夸张的说，相当于一辆公共汽车大小！

通体白色，非常占地方。

而净室里的机器看去只有一张办公桌那么大，机型是黑色的。

看去就像是国外生产光刻机的斯麦尔集团生产的阉割版。

让人有些担心，这种机器真的可以做到7nm、5nm，乃至未来几年会出现的3nm的光刻任务吗？

此时里面的苏晨已经恢复了精神，面色平静，没有一丝感情。

似乎他已经没有体力让自己兴奋起来！

“老师，实验可以开始了。”

苏晨开口说道。

杨平按下麦克风的按钮：“第9次芯片生产实验，启动！”

随着一声令下。

科研人员操作者机械臂，吸附起了一块12英寸的晶圆。

放入正在传送的履带之后，晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。

旁边的操作人员紧张的汇报着数据。

因为过于紧张，连声音都有些颤抖。

“报告……启动程序无故障！”

“电压稳定设备运行正常！”

“监控设备运行正常！”

“……”

此时整个研究室鸦雀无声，落针可闻！

大家仿佛可以听到，机器中低落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。

要知道，这东西的声音人类几乎不可能捕捉到！

但是此时大家就是可以听到！

出了仪器发出的细微声响之外。

整个净室，哪怕大家相距胜远，都能听到彼此的呼吸声！

苏晨目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕，看着显示屏幕的光刻进度条。

进度条一点点的衍生，他的手心开始湿润了起来。

这场实验已经接近十次了！

这次是最接近成功的一次！

极紫外光刻机太重要了。

有了它，只要有了芯片图谱，就可以制造出来相应的芯片！

而就在不久之前，杨平实验了5nm芯片图谱，还在实验阶段！

而今天，他们就是要利用光刻机生产5nm芯片！

如果真的可以做到这些，那么国家的半导体产业将会迈出史诗性的第一步！

终于，在万众瞩目中，进度条拉满！

一块晶圆被吐了出来，机械臂再度吸起来，然后放入蚀刻机。

这个步骤不复杂，只是将暴露的单晶硅蚀刻掉。

露出光刻后的凹槽。

然后注入离子，让单晶硅拥有晶体管开关的特性。

在用铜进行晶体管间的连接工作。

在芯片彻底产出之前，大家都不敢说话。

时间一分一秒过去，终于到了切割的步骤。

终于，晶圆被切割成了700片小的芯片。

苏晨这个时候立刻去开始查看数据。

随后他憔悴的脸露出了淡淡的微笑。

他看向自己的老师，对方已经明白了结果。

“我宣布，国产第一台极紫外光刻机，研制成功！”

声音徐徐落下，所有科研人员都猛地起身，发出了雷鸣一般的掌声！

甚至有的人激烈的拥抱在了一起！

“成功了！！！！5nm芯片啊！！！！”

“我们可以挺起腰杆来做人了！”

“极紫外光刻机！5nm芯片！！！外国佬，就你们有5nm？”

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