第九十一章 深硅刻蚀工艺 (3-2)

牺牲层技术（工艺），1985年才被引入到半导体加工领域，“表面”微机械加工概念由此产生。之所以，1988年，震惊世界的微静电马达能够问世，就是拜牺牲层技术所赐。

王工的专业性评价，大多数人没有听懂，但并不妨碍大家把目光投向陈泉，等待解释。

“是的。这个陀螺仪，我不准备只采用牺牲层工艺。”

陈泉没有丝毫慌乱。

记忆里，陀螺仪采用的加工工艺，的确发生了变化。

之所以，陈泉要抛出新论文，也跟加速度传感器论文，被《Applied Physics Letters，应用物理快报》采用有些关系。

应用物理快报，在半导体工艺系列里，算是与MEMS有关联的期刊里，最好的一波期刊了。其SCI影响因子超过了4。

（真正的MEMS专业期刊，还没有面世。）

按理，论文被确定采纳，是件大好事，但陈泉和曲燕秋有点坐不住了。因为不论是他还是她，都没有任何感觉。

前两次的过关，陈泉和曲燕秋，都能明显看到，或者感到一些不同。

例如第一次过关，曲燕秋被实质激活，第二次，干脆苏醒。可现在，没有消息，就是最坏的消息。

所以两个人，不得不继续拔高心理目标，把论文的层次，再推高一个档次。

这次的目标，盯叮住了S（CELL， SATURE），这三本顶级超一流期刊，一次就给他搞到位。

这种超一流期刊论文，在80年代末，不用多，只要有一篇，在国内，就可以开宗立派，直接成立专属实验室，乃至新的专业。

这个陀螺仪，以及它后面的工艺论文，就是陈泉和曲燕秋两个人，精心选出来的目标。

.....

“不是牺牲层工艺？还有别的工艺吗？我怎么没有听说？”

王工眯起眼睛，重新打量起眼前的，年轻得不像话的青年。

“嗯，姑且算是我的发明吧。这次想申请的专利，就有它一个。”

国际专利申请的初期，花钱不算太多，交800到一千美元的报名费，就可以有12到18个月的独占期。没有这个时间差，MEMS项目组，支付不起加速度传感器的专利申请。

“这个工艺叫什么名字？”

“嗯，叫.....”

陈泉挠了挠头。

所有的记忆，都是图像记忆，名字什么的，从来都是没有。

“我还没有给它起名呢。要不就叫深硅刻蚀工艺吧。”

陈泉按照直觉印象，随口起了个名字。名字说出口后，感觉还不错。

“深硅刻蚀工艺？那是什么东西？”

王工满脸迷惑。“能不能给我解释一下，这个工艺是如何实现的？”

“能倒是能，不过这可就是真正的核心技术了.....”

陈泉十分为难，看向四周，满脸的不放心。

“王工，你就别难为.....”

林书强跑过来帮腔。

“哈，小伙子，你小瞧了我。”

王工突然虎躯一震，挺直了身体。“只要你能说服我，可以实现眼前的这套陀螺仪，200万的赞助资金，我们航院出了！”

“你们航院出了？”

陈泉傻眼了。

不仅陈泉傻眼了，其他人也都傻眼了。

黄楚雄傻眼了，赵良材傻眼了，连林书强都傻眼了。

作为校长，他竟然不知道，下面的航院，居然如此有钱了？

航院的刘院长，其实也傻眼了。

航院哪里有什么钱啊！

但他什么都不说，接着看热闹。

......

“我们单独聊聊？”

赵良材最先反映过来。这位王工，作为航院院长的客人，身份已经呼之欲出了。

“好。”

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