第107章 光栅测试 (2-2)

“这就是光栅吗？”不少研究生都是露出了失望之状，这光栅看上去只不过是一片平平无奇的玻璃片罢了，并没有什么神奇的地方。

“可别小看了这光栅，”王向中笑道，“虽然它看上去和寻常的玻璃片没什么两样，但在显微镜下，就可以看到其表面满满的都是锯齿形凹槽。”

“说的不错，”萧炎点了点头，“它在透明玻璃上刻制很多条相互平行、等距、等宽的狭缝，利用多缝衍射原理，是可以使复合光发生色散的光学元件。”

“虽然……但是，您为什么只带了两块光栅？”王向中有些不解，明明约定好了会有五块光栅，而萧炎却只是将两块样品带了过来。

“华科院的光刻机已经被预定了，短时间内没法多造出几块来，”听到王向中的话，萧炎也是神色愤怒道：“这帮老家伙，真是一点面子都不给。”

“还好我带了掩膜图纸，”他将手中的光栅放下，道：“在我包里有四张软盘，里面装的就是掩膜图纸，至于高纯度玻璃嘛，我已经委托海外的朋友寄了几片，不出几天应该就能到了。”

好家伙，这萧炎教授还真会因地制宜，知道厂里有光刻机，索性连样品都在这里制造了。

不过这些都是小问题，只要能把光栅造出来，其它的都不是事。

“现在就上机试一下吧，我们已经等了很久了。”江超笑道，“自从谭师妹把具体的资料交给我们之后，我们已经把改造的架子给装上去了，只要把光栅放上去，就能进行测试了。”

“软件那边呢？”王向中用手肘捅了捅一旁的白马，“白师兄，你可别告诉我到现在你们还没准备好。”

“都准备好了，放心吧！”白马豪爽地笑道：“我们只是添加了部分工序的代码而已，其它的都不用多改。”

这种离轴照明法所用的程序和一般的光刻程序无异，只不过是调整了一些参数，增加了一些代码片段而已，毕竟离轴照明法只是对光掩膜提出了更高的要求，而非是光刻机和工作台本身。

“别磨叽了，你这个小组长怎么当的！”萧炎见到王向中仍然是不急不缓的模样，一下子就来了脾气：“还不赶紧去制定测试计划！”

回到1997造芯片提示您：看后求收藏（百发小说网http://www.baifabohui.com），接着再看更方便。