第93章 力排众议（上） (2-2)

听到这些话，台下的研究生们脸色才算是好看了一些，但如果只是这点理论的话，也完全不足以支撑整个改进工艺，于是便有人忍不住说道：“那我们怎么提高数值孔径呢？”

“数值孔径的提升有两个办法，那就是改良透镜组，提升它的外镜直径，或者是减小透镜曲率半径，两者都是比较好的选择。”王向中沉吟道。

“改良透镜组”台下一名戴眼镜的工程师nsr nnr，工程工艺工程师终于忍不住了，似是有些不屑地提问道：“外镜直径说提升就能提升？透镜难道可以手工打磨？你简直是在胡说八道，我真是听不下去了。”

“你是不是以为自己能比康尼研发部还聪明？他们做不到的事情你就能做到，你以为你是谁？”他继续嘲讽道，“你知道镜头玻璃的技术指标吗？先不说咱们能不能把镜头造出来，你们现在难道已经有了设计图纸吗？”

听到这话，不少人也是脸色一变，看向王向中的眼神也不太信任起来。

“这几台康尼光刻机的基础工艺因子系数已经调教得很好了，基本接近于0.3，想通过提升对比度方式的工艺提升很有限。而且你擅自改动透镜组参数，势必也要调整光源功率，到时候又会引发更多的问题。”另一名工程师说道，他倒没有半分鄙视王向中的意思，不过那双眼睛里满满的都是担忧之色。

光刻机是一个整体的系统，如果改动了其中一个参数，那便是牵一发而动全身的事情，几乎要将其它相关联的所有参数改动个遍，而这也是改进光刻机工艺比较难的原因之一。

“除非你可以搞到国外的新透镜组零件，否则一切免谈！”戴眼镜的工程师摆了摆手，便也不再发言。

听言，王向中也是深深皱了皱眉头。

倒不是因为那两人质疑声有什么问题，恰恰相反，他们的疑问都是有根有据的，但王向中怎么又会考虑不到这些问题呢？

但是要这么轮番提问下去，这个大会到明天都开不完。

“大家稍安毋躁，有关于这些问题的解决方案，我都已经做过一番推演了。你们所提到的问题，其实都不是问题。”王向中突然将嗓门提高了几度。

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