第67章 参观晶圆厂流水线（中） (2-2)

左为民作为工程师，作为晶华的技术骨干，自然是不愿意承认自己的错误即使他没有能力，也会想要试图掩盖一切对其不利的证据，即便最终的代价是整个厂消失在历史长河中，他也不愿意让自己的脸面遭受到任何损失。

叶志华将目光投向一旁的牛玉鹏，而此时对方也是摊了摊手，模样也是显得颇为无奈。很显然牛玉鹏是非常清楚这个问题存在的，但是他们解决不了。

这直接说明了，晶华的问题还不仅仅停留于技术层面上，在人的层面上，可能同样有着不小的矛盾。

这在场的一切举动自然也是被王向中尽收眼底，不过他仍然是不动声色，只是笑着上前说道：“左厂长，我们已经准备好了，可以开始了吧？”

左为民轻轻扫了在场众人一眼，轻声道：“跟我来。”

再通过一组气锁室，王向中几人便是到达了晶圆厂的内部核心所在光刻室。

光刻室，是一家晶圆厂的终极奥秘所在。这里处处遍布着黄色的钠灯用于照明，气压和湿度也达到了一个人类舒适范围之外的指标。

一进入这里，不仅会觉得钠灯的光线特别黄，同时，还会觉得防尘服下变得粘腻燥热起来，就如同进入了高压锅一般。

因为空气的流动特性，气体总是会从高压地区流向低压地区，因此为了保证光刻室内的最大纯净程度，光刻室内的压强起码要比外面的大气压高上50p左右，以保证外部污染物不会随着空气流入光刻室内。

在广义上，光刻中一般包含三个步骤，第一个步骤是涂胶，即涂抹光刻胶。

光刻胶分为正胶和负胶两种，其中正胶遇光就会失去原有化学性质，而负胶遇光就会产生化学性质的变化，这两种胶通常用在不同的工序之中。

第二道工序则是刻蚀，当硅单质基底均匀涂抹光刻胶后，通过光源对光刻胶进行曝光，再使用超纯水和化学物质对基底进行蚀刻，在基底表面留下与光掩模一致的坑道。

而第三道工序则是沉积，在坑道内的不同部分掺入硼、磷等杂质，并使其沉积在基底表面，通过它们不同的化学性质，在基底这张不导电的硅片上人为创造可以单向导电的二极管。

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